石英陶瓷的析晶介紹
石英陶瓷是石英在高溫狀態(tài)下經(jīng)過(guò)晶體的轉(zhuǎn)化形成的,不過(guò)在一定的保溫狀態(tài)下,石英陶瓷會(huì)產(chǎn)生析晶,以方石英的方式析出,下面我們就來(lái)看看析晶原因吧。
析晶通常發(fā)生在石英陶瓷的表層,按照中國(guó)石英玻璃行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定,半導(dǎo)體工業(yè)用石英玻璃在1400℃±5℃下保溫6小時(shí),其析晶層的平均厚度應(yīng)為﹤100m ,在100m之內(nèi)的析晶是屬于正常的。析晶將減薄石英陶瓷原有的厚度,降低了坩堝的強(qiáng)度容易引起石英陶瓷的變形。嚴(yán)重的析晶對(duì)拉單晶的影響很大,石英陶瓷內(nèi)壁發(fā)生析晶時(shí)有可能破換坩堝內(nèi)壁原有的涂層,這將導(dǎo)致涂層下面的氣泡層和熔硅發(fā)生反應(yīng),造成部分顆粒狀氧化硅進(jìn)入熔硅內(nèi),使得正在生長(zhǎng)中的晶體結(jié)構(gòu)發(fā)生變異而不能正常長(zhǎng)晶。
以上就是石英陶瓷的析晶介紹了,為了避免析晶,我們?cè)跓Y(jié)時(shí)的溫度一定要控制合理,在燒結(jié)溫度一定的條件下選擇合理的保溫時(shí)間以期同時(shí)獲得高致密、高性能材料以及較高的原料利用率。
小編:shanni